激光全息測微儀（0.01um分辨率）LGH系列測頭542-711，542-712
542系列-0.00001mm分辨率型
這類精度的測頭分辨率可達0.0001mm，小型化設(shè)計使其易于安裝在狹小的空間內(nèi)，LaserHologage采用了特有的Laser Hologage作為長度標準，確保了測量精度和重復精度，(參見第3頁關(guān)于hologram的詳細說明)。也可選用專用的EF計數(shù)器。
特點:
1.三豐公司的激光全息光柵式測微儀是一種數(shù)顯測量系統(tǒng)，采用激光衍射測長原理，進行高精度和高重復精度測量。
2.緊湊型測微儀降低了每個裝置組裝激光光柵尺所需的成本。該測微儀也有助于縮小整個系統(tǒng)的尺寸。本測微儀是測量儀器或控制裝置長度測量傳感器，也是高精密部件測量的好選擇。
3.具有 0.1μm 的分辨力適于進行高精度測量。
4.具有測量穩(wěn)定性——高防護性設(shè)計，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測力型 ( LGH-1010C ) 可用于易變形的精密工件。
6.測桿導軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運動效果和超長耐用性。
技術(shù)參數(shù)：
精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.1μm
長度基準: 激光全息測量傳感器
反應速度: 250mm/s
測針: R1.5mm硬質(zhì)合金
軸套: ?15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測力: 參見性能參數(shù)
輸出信號: 90度相位差，差動方形波 ( RS-422A 等效 )
信號間距: 0.25μm
性能參數(shù):
貨號 | 542-711-1 | 542-712-1 | |
測量范圍 | 10mm | ||
分辨力 | 0.1μm | ||
測量精度 ( 20oC ) | 0.2μm | ||
重復精度 ( 2 ) | 0.02μm | ||
回程誤差 | 0.05μm | ||
測力 | 測桿朝上 | 約 0.35N 以下 | 約 0.1N |
測桿水平 | 約 0.45N 以下 | — | |
測桿朝下 | 約 0.55N 以下 | — | |
輸出信號 | 0.25μm, 90o 相位差 , 雙相位正弦波 | ||
長度基準 | 激光全息測量傳感器 | ||
響應速度 | 250mm/s | ||
重量 | 200g ( 不包括電纜) | ||
塵 / 水防護等級 | — | ||
測頭 | ?3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) x 5 ) , 標準測頭 No.901312 | ||
裝夾套筒 | ?15mm | ||
軸承類型 | 線性滾珠軸承 | ||
輸出電纜長度 | 2m | ||
連接器 | 插頭 : RM12BPE-6PH ( HIROSE ) , 兼容插座 : RM12BRD-6S ( HIROSE) | ||
運行溫度 ( 濕度 ) 范圍 | 10 - 30oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝) | ||
存儲溫度 ( 濕度 ) 范圍 | –10 - 50oC ( RH 30 - 70%, 無冷凝 ) 打開包裝后存放的溫度和濕度條件與操作時的條件相同 | ||
標準附件 | 測頭專用扳手 : No.538610 | ||
訂貨信息：
測量范圍 | 貨號 | 分辨率 | 精度 | 測力* | 軸套直徑 | 備注 |
10mm(.4") | 542-711-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.55N/0.45N/0.35N | 15mm | — |
10mm(.4") | 542-712-1 | 0.1μm | 0.2μm | 0.1N/—/— | 15mm | 低測力 |
*測微計方向：朝上／水平／朝下 | ||||||
產(chǎn)品尺寸圖：
單位：mm
