數(shù)顯電感測微儀有哪些應用？

 　數(shù)顯電感測微儀是利用電感原理測量微小尺寸變化的精密測量儀器，儀器主要由由主體和測頭兩部分組成。數(shù)顯電感測微儀有指針式和數(shù)字式兩種，具有高精度、智能化、多功能化、精度高、操作方便、性能穩(wěn)定等特點。數(shù)顯電感測微儀可以顯示絕對值或相對值，具有多種狀態(tài)指示，可用于計量室或恒溫車間作長度量的精密比較測量。

　　數(shù)顯電感測微儀采用模擬量或數(shù)字的形式將測頭端測量信號傳輸?shù)接嬎銠C進行數(shù)據處理?？蓪y量結果輸入微機，進行數(shù)據統(tǒng)計分析存儲打印等等。采用單片機進行數(shù)據處理，用軟件進行非線性修正，使高精度測量范圍成倍擴展，用軟件進行絕對零點與相對零點的轉換，零位調節(jié)簡單方便。數(shù)顯電感測微儀采用了抗干擾措施，使整機測量精度高、可靠性好、穩(wěn)定性好、抗干擾能力強。在測量過程中能夠消除工作的定位誤差，以及消除由于測量裝置移動、溫度變化和工件回轉等所產生的誤差從而提高測量精度。

　　數(shù)顯電感測微儀用于機械加工中的精密測量，配以響應的測量裝置可測量工件的厚度、內徑、外徑、直線度、平面度、垂直度和跳動等。數(shù)顯電感測微儀廣泛應用于精密機械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。

軟件應用設計：

軟件部分采用了MCS-51匯編語言編寫，運用了模塊化的結構形式。系統(tǒng)軟件分為主程序模塊和中斷處理模塊。主程序由系統(tǒng)初始化子程序、A/D轉換、數(shù)字濾波、非線性修正、數(shù)據處理及更新顯示等子程序組成。

儀器采用了防脈沖干擾的平均值濾波的方法，即把采樣信號按照從大到小的順序排列起來，然后將最大值和最小值去掉，再把其余值求和并取平均值。

非線性修正子程序采用了分段線性插值，首先將電感式傳感器固定在高精度的標準臺架上進行標定。在±30μm檔標定的精度是0.01μm；在±500μm檔標定的精度是0.1μm，然后根據實測的曲線將其分段。為了保證精度，采用了等距分段法，對于±500μm檔，每隔10μm分段；對于±30μm檔，每隔1μm分段。雖然分段數(shù)目增多，占用內存較多，但可以保證電感測微儀的精度。由于各段均用直線代替曲線，因此很容易求出傳感器輸入的電壓值x所對應的位移值y。

設x在xi-1和xi之間，則線段的插值公式為
y=yi-1+ki-1(x-xi-1）　⑶
式中：Ki-1=(yi-yi-1)/(xi-xi-1）為i-1段的斜率。

將ki-1及yi-1根據分段情況事先算出，并存入表格中，當單片機通過A/D轉換采集到傳感器輸入電壓值x時，通過查表法判斷采集的值落在哪一段區(qū)間，按公式⑶算出相應的位移值y。

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